Leírás
Für die Produktionseinrichtung einer Forschungsanstalt muss die Reinstwasserqualität optimiert werden. In der Anlage werden Spezial- und Versuchswafer produziert. Das hierfür benötigte Wasser findet in den unterschiedlichsten Schritten der Wafer-Herstellung seinen Einsatz. Für diese speziellen Anwendungskriterien reicht die Qualität von gebräuchlichem Reinstwasser in Bezug auf Partikelfreiheit und schädliche Ionen nicht aus. Da die Anzahl der im Medium vorhandenen schädlichen Restmoleküle zu hoch sein kann, muss eine nochmalige Nachreinigung des bereits vorgereinigten Wassers erfolgen.
