GEMÜ C53 iComLine szabályzószelep
A félvezető- és elektronikai ipar magas követelményeket támaszt a szelep-, mérési és vezérlési technológiákkal szemben. A pneumatikus működtetésű szelepek egyre kevésbé felelnek meg a vezető technológiai berendezések gyártóinak magas szintű ellenőrzési követelményeinek. Ezért a GEMÜ kifejlesztette a GEMÜ C53 iComLine szabályzószelepet, amelyet elektromotor működtet.
A GEMÜ C53 iComLine 2/2-utas membrán-ülékes szelepet a félvezetők gyártása során felmerülő precíz és igényes szabályzási alkalmazásokhoz fejlesztették ki. A szelep tömítésének elve GEMÜ PD technológián alapul, amelyben a szelepműködtetőt és a közeget egy ellenálló, PTFE-ből készült vezérlőkúp választja el. Mivel a vezérlőkúp-kontúr, a működtető lökethossza és a csatlakozási méretek testreszabhatók, a GEMÜ C53 iComLine megfelel a csúcstechnológiájú félvezető-ipar szinte minden szabályzási és áramlási követelményének. A precíz léptetőmotor és a nagy tisztaságú anyagból készült szeleptest kombinációjának köszönhetően a szelep különösen alkalmas litográfiai, CMP és maratási folyamatokhoz, valamint a félvezető gyártás során felmerülő további alkalmazásokra.
A GEMÜ C53 iComLine membrán-ülékes szelep nemcsak egyszerű 2/2 utú szelepként szerelhető be. A GEMÜ PC50 iComLine M-Block alkalmazásba való integrálás szintén lehetséges komplex áramlási irányok minimális helyen történő kialakítására. A szilikon lapka feldolgozásakor a szelepblokk használható például a FOUP-Cleaner-ben a DI víz hőmérsékletének szabályozására. E célból a GEMÜ PC50 iComLine visszacsapó szelepeket és érzékelőket be lehet építeni az M-Blokkba.
